申请/专利权人：天水华洋电子科技股份有限公司

申请日：2023-10-30

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN117448826B

主分类号：C23F1/46

分类号：C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00;C25C7/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要：本发明涉及引线框架蚀刻液回收技术领域，尤其是一种集成电路引线框架蚀刻液回收再利用工艺，该工艺包括以下步骤：步骤一：将使用后的蚀刻液抽取至回收装置中的电解槽内，然后将盖板封盖在电解槽上，对电解槽内的蚀刻液通电以进行电解工作；本发明通过中和箱和空气循环组件的设置，空气循环组件将电解槽内的气体抽取至中和箱中，随后通过气泵和固定管吹回至电解槽中，在此过程中，利用中和箱中的碱性溶液实现对酸性物质的中和工作，使得溶液中易挥发的酸性物质，如硫酸、盐酸等酸性物质进行中和反应，降低酸性物质对技术人员的伤害和对环境的污染。

主权项：1.一种集成电路引线框架蚀刻液回收再利用工艺，其特征在于，该工艺包括以下步骤：步骤一：将使用后的蚀刻液抽取至回收装置中的电解槽（1）内，然后将盖板（2）封盖在电解槽（1）上，对电解槽（1）内的蚀刻液通电以进行电解工作；步骤二：开启气泵（5），利用气泵（5）对电解槽（1）内的空气进行循环，在循环的过程中，对蚀刻液中含有的酸性物质进行中和，开启水泵（10），利用水泵（10）对电解槽（1）内的水进行循环，利用水循环实现对蚀刻液的搅拌；步骤三：在电解的过程中，通过灯泡（7）观察反应是否进行，通过电阻加热丝（17）对蚀刻液进行加热，加快酸性物质的挥发；所述回收装置包括电解槽（1），还包括：盖板（2），升降安装在电解槽（1）的顶部，用于实现对电解槽（1）的封堵；中和箱（3），固定连接在盖板（2）的顶部，其内预先添加有碱性溶液；空气循环组件，用以实现对电解槽（1）内的空气循环，并且空气流经中和箱（3）；水循环组件，设置在电解槽（1）的一侧，用于实现对电解槽（1）内蚀刻液的循环；导电加热组件，用于实现对蚀刻液的电解和对蚀刻液的加热工作；在电解的过程中，通过盖板（2）将电解槽（1）密封起来，空气循环组件利用中和箱（3）实现对酸性物质的中和工作，空气循环组件将空气吹在蚀刻液上，引起蚀刻液波动，通过水循环组件实现对蚀刻液的搅拌，进一步实现蚀刻液的波动，进而蚀刻液起到搅拌的作用，导电加热组件在工作的过程中，能够加快电解反应的进行，加快酸性物质的挥发；所述空气循环组件包括：气泵（5），固定连接在电解槽（1）的一侧，气泵（5）设置有两个吸气端，分别连通有伸缩管（14）和进气管（15），气泵（5）的输出端连通有固定管（12）；气槽（16），开设在电解槽（1）的底部；多个气孔（31），其两端分别与气槽（16）和电解槽（1）的内部腔室连通；多个单向阀（18），分别设置在多个气孔（31）内；其中，伸缩管（14）与中和箱（3）连通；在空气循环的过程中，通过气泵（5）从中和箱（3）内抽取空气输送至气槽（16）中，随后通过气孔（31）进入到电解槽（1）中，然后通过电解槽（1）再回到中和箱（3）中，以此实现空气的循环，在循环的过程中，利用中和箱（3）内的碱性溶液对蚀刻液中挥发的酸性物质进行中和；所述水循环组件包括：水泵（10），固定连接在电解槽（1）的一侧；两个循环水管（11），分别与水泵（10）的输出端和输入端连通，两个循环水管（11）远离水泵（10）的一端均与电解槽（1）连通，与水泵（10）输入端连通的循环水管（11）上设置有防堵单元，防堵单元设置在电解槽（1）内；弧形导流板（32），固定连接在电解槽（1）的内壁上，与水泵（10）输出端连通的循环水管（11）位于弧形导流板（32）的一侧；在水循环的过程中，水泵（10）抽出的水流会冲击在弧形导流板（32）上，利用弧形导流板（32）对水流的引导，使得水流在电解槽（1）内形成旋涡，利用水流形成的旋涡，进而实现搅拌的作用。

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百度查询： 天水华洋电子科技股份有限公司 一种集成电路引线框架蚀刻液回收再利用工艺

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