申请/专利权人：北京北方高业科技有限公司

申请日：2024-01-11

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN117664358B

主分类号：G01J5/48

分类号：G01J5/48;G01J5/02;G01J5/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本公开提供了一种红外探测器像元和红外探测器，红外探测器像元包括：吸收板、梁结构、第一柱状结构、第二柱状结构，第三柱状结构、以及测量电路系统，吸收板上红外辐射引起的热信号依次通过第二柱状结构、第一柱状结构传递至测量电路系统中的衬底上；吸收板将噪声信号转换为电信号并通过第三柱状结构、梁结构以及第一柱状结构传递至测量电路系统。通过本公开的技术方案，滤除了红外辐射引起的热信号对红外探测器探测电信号结果的影响，也增强了红外探测器像元的结构稳定性。

主权项：1.一种红外探测器像元，其特征在于，包括：吸收板、梁结构、第一柱状结构、第二柱状结构，第三柱状结构、以及测量电路系统；所述第一柱状结构位于所述测量电路系统和所述梁结构之间，所述梁结构通过所述第一柱状结构与所述测量电路系统电连接，所述第二柱状结构位于所述吸收板和所述第一柱状结构之间，所述第二柱状结构与所述第一柱状结构接触，所述第三柱状结构位于所述吸收板和所述梁结构之间，所述吸收板通过所述第三柱状结构与所述梁结构电连接；所述吸收板上由红外辐射引起的热信号依次通过所述第二柱状结构、所述第一柱状结构传递至所述测量电路系统中的衬底上；所述吸收板将噪声信号转换为电信号并通过所述第三柱状结构、所述梁结构以及所述第一柱状结构传递至所述测量电路系统；其中，所述梁结构包括第一电极层和钝化层，所述吸收板包括绝缘层、热敏层和第二电极层；所述第一柱状结构包括第一金属层和第一实心结构，所述第二柱状结构包括第二金属层和第二实心结构，所述第三柱状结构包括第三金属层和第三实心结构；所述第一金属层位于所述第一实心结构和所述第一电极层之间，所述钝化层位于所述第一电极层背离所述测量电路系统的一侧，所述第二金属层位于所述绝缘层和所述第二实心结构之间，所述热敏层位于所述绝缘层背离所述测量电路系统的一侧，所述第三金属层位于所述第二电极层与所述第三实心结构之间；所述热敏层上的由红外辐射引起的热信号依次通过所述绝缘层、所述第二金属层、所述第二实心结构、所述第一金属层、所述第一实心结构传递至所述测量电路系统中的衬底上；所述热敏层将噪声信号转换为电信号并通过所述第二电极层、所述第三金属层、所述第三实心结构、所述第一电极层、所述第一金属层以及所述第一实心结构传递至所述测量电路系统。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方高业科技有限公司 红外探测器像元和红外探测器

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