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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2020-03-18
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN113614664B
主分类号：G05B23/02
分类号：G05B23/02;H01L21/677
优先权：["20190326 JP 2019-058391"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2022.01.14#实质审查的生效;2021.11.05#公开
摘要：本发明提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。
主权项：1.一种状态判断装置，其特征在于：所述状态判断装置判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态，并包括：构成为能够获取所述驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成所述驱动机构的监视模型，其中，所述正常动作数据来自于在所述驱动机构的正常动作时由所述获取部获取到的所述动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入所述监视模型而得到的第一输出数据，判断所述驱动机构的状态，其中，所述评价数据来自于在所述驱动机构的评价时由所述获取部获取到的所述动作数据，所述第一判断部执行以下处理：基于所述正常动作数据与将所述正常动作数据输入所述监视模型而得到的第二输出数据之间的第一误差，获取容许误差的处理；通过将所述评价数据和所述第一输出数据之间的第二误差与所述容许误差进行比较，获取从所述容许误差的第一偏差率的处理；以及基于所述第一偏差率判断所述驱动机构的状态的处理，所述第一偏差率为，基于所述第二误差和所述容许误差计算均方根误差RMSE而得到的值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质
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