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申请/专利权人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
申请日：2022-08-24
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN115678060B
主分类号：C08J5/18
分类号：C08J5/18;C08J9/228;C08L83/04;C08L27/06;G01L1/14
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2023.02.21#实质审查的生效;2023.02.03#公开
摘要：本发明提供了一种介电薄膜、电容式压力传感器及其制备方法；介电薄膜的制备方法，包括如下步骤：将热膨胀颗粒与PDMS溶液混合，得到混合溶液；将混合溶液涂覆在基材的表面，并加热固化，以在基材表面形成介电薄膜，介电薄膜包括PDMS膜层及凸出于PDMS膜层表面的由热膨胀颗粒形成的空心半球形凸起。相对于传统的模具法、3D打印法和静电纺丝法等电容式压力传感器的制备方法，本发明的制备方法不仅工艺非常简单、成本低、可重复性高、可以实现大面积生产，而且所制备的电容式压力传感器的灵敏度较高。
主权项：1.一种介电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将热膨胀颗粒与PDMS溶液混合，得到混合溶液；及将所述混合溶液涂覆在基材的表面，并加热固化，以在所述基材表面形成所述介电薄膜，所述介电薄膜包括PDMS膜层及凸出于所述PDMS膜层表面的由所述热膨胀颗粒形成的空心半球形凸起；所述热膨胀颗粒的粒径为10μm～50μm；所述混合溶液中，所述热膨胀颗粒的质量百分比含量为10％～30％；所述加热固化的温度为100℃～160℃，保温时间为30min～60min；所述混合溶液在所述基材表面的涂覆厚度为50μm～200μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) 介电薄膜、电容式压力传感器及其制备方法
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