申请/专利权人：深圳市深科达智能装备股份有限公司

申请日：2019-09-05

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN110497341B

主分类号：B25B11/00

分类号：B25B11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2019.12.20#实质审查的生效;2019.11.26#公开

摘要：本发明涉及真空贴合的技术领域，公开了真空腔室的真空平衡结构，包括处于真空腔室内的治具板，治具板内设有内腔室；治具板上具有吸合面，吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，真空吸孔与内腔室连通；治具板上设有连通孔以及平衡孔，连通孔及平衡孔分别连通内腔室及外部，真空发生器通过连接管与连通孔连接；平衡孔上设置有自动平衡结构，内腔室内的压力大于真空腔室内的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通；治具板处于真空腔室，内腔室的压力大于真空腔室的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通，使内腔室与真空腔室的压力一致，工件的表面没有压差，治具板通过静电吸片吸附工件，实现对工件的固定。

主权项：1.真空腔室的真空平衡结构，其特征在于，包括处于真空腔室内的治具板，所述治具板内设有内腔室；所述治具板上具有吸合面，所述吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，所述真空吸孔与所述内腔室连通；所述治具板上设有连通孔以及平衡孔，所述连通孔及所述平衡孔分别连通所述内腔室及外部，真空发生器通过连接管与所述连通孔连接；所述平衡孔上设置有自动平衡结构，当所述内腔室内的压力大于所述真空腔室内的压力时，所述自动平衡结构打开所述平衡孔，所述内腔室与所述真空腔室连通；所述自动平衡结构包括弹片，所述弹片具有固定段以及受力相对于所述固定段弹性摆动的活动段，所述固定段固定连接在所述治具板上，所述活动段覆盖在所述平衡孔上；当所述活动段抵压在所述治具板上，所述活动段封闭所述平衡孔，当所述活动段偏离所述治具板摆动后，所述平衡孔打开；所述治具板具有封闭面，所述平衡孔的开口形成在所述封闭面上；所述活动段具有朝向所述治具板的封闭面的抵压面，所述抵压面凸设有弹性层，当所述弹性层抵压在所述治具板的封闭面上后，所述弹性层封盖所述平衡孔的开口，封闭所述平衡孔；所述固定段与所述活动段呈弯折布置，沿所述固定段至所述活动段的延伸方向，所述活动段偏离所述治具板弯折布置；沿所述固定段至所述活动段的延伸方向，所述弹性层的厚度逐渐加大；所述弹性层上凸设有弹性的密封环，所述密封环具有朝向所述治具板布置的平整压面，当所述弹性层抵压在所述治具板的封闭面上后，所述密封环的平整压面抵压在所述治具板的封闭面上，且所述密封环环绕在所述平衡孔的开口的外周。

全文数据：

权利要求：

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