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申请/专利权人：上海近观科技有限责任公司
申请日：2021-05-08
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN115308187B
主分类号：G01N21/65
分类号：G01N21/65
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2022.11.25#实质审查的生效;2022.11.08#公开
摘要：本发明提供一种芯片式拉曼光谱仪，包括：包含耦入光栅阵列、干涉仪阵列及耦出光栅阵列的静态干涉仪芯片，图像传感器芯片及一个复合抛物面聚光镜；耦入光栅阵列包括若干个依次一一对应连接的耦入光栅、第一锥形平面波导及第一条形波导；每个第一条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接，且相互平行排列为一排；干涉仪阵列包括若干个弯曲波导、直波导以及设置于直波导两端的反射镜；耦出光栅阵列包括若干个一一对应连接的第二条形波导、第二锥形平面波导及耦出光栅；每个第二条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接，且相互平行排列为一排。本发明的芯片式拉曼光谱仪，有效提高了光谱仪的输入光通量，并且简化了输入信号光线与耦入光栅阵列之间的对准结构。
主权项：1.一种芯片式拉曼光谱仪，其特征在于，所述芯片式拉曼光谱仪包括：静态干涉仪芯片和图像传感器芯片封装在一起的封装体，以及与所述封装体机械连接的一个复合抛物面聚光镜；所述静态干涉仪芯片包括依次一一对应连接的耦入光栅阵列、干涉仪阵列及耦出光栅阵列；所述耦入光栅阵列包括若干个依次一一对应连接的耦入光栅、第一锥形平面波导及第一条形波导；每个所述第一条形波导的末端为条形直波导，且若干个该条形直波导相互平行排列为一排；所述干涉仪阵列包括若干个弯曲波导、对应设置于每个所述弯曲波导旁边的直波导以及设置于每个所述直波导两端的反射镜；若干个所述第一条形波导与若干个所述弯曲波导一一对应连接；所述弯曲波导与对应设置的所述直波导形成定向耦合器；所述直波导与其两端的所述反射镜形成法布里-珀罗干涉仪；所述耦出光栅阵列包括若干个一一对应连接的第二条形波导、第二锥形平面波导及耦出光栅；每个所述第二条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接，每个所述第二条形波导的末端为条形直波导，且若干个该条形直波导相互平行排列为一排；所述复合抛物面聚光镜设置于所述耦入光栅阵列的正上方；所述图像传感器芯片设置于所述耦出光栅阵列的上方，以接收所述耦出光栅阵列的衍射光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海近观科技有限责任公司 芯片式拉曼光谱仪
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