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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日：2021-09-10
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN113655300B
主分类号：G01R29/14
分类号：G01R29/14
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2021.12.03#实质审查的生效;2021.11.16#公开
摘要：本公开提供了一种谐振式电场传感器及其制备方法。该电场传感器包括：衬底；支撑梁，设置在所述衬底上；振动单元，通过所述支撑梁悬空形成于所述衬底上；驱动单元，形成于所述衬底上的所述振动单元的外围，用于驱动所述振动单元产生谐振式振动；检测单元，设置在所述衬底上；所述检测单元用于检测所述振动单元在外界电场作用下的谐振频率的变化。本公开的电场传感器在不同外界电场作用下谐振频率发生变化，通过谐振频率来表征外界电场的场强，抗干扰能力强，灵敏度高，可用于交直流电场测量或非接触式电压测量。
主权项：1.一种谐振式电场传感器，其特征在于，包括：衬底；支撑梁，设置在所述衬底上；振动单元，通过所述支撑梁悬空形成于所述衬底上；驱动单元，形成于所述衬底上的所述振动单元的外围，用于驱动所述振动单元产生谐振式振动；检测单元，设置在所述衬底上；其中，所述检测单元用于检测所述振动单元在外界电场作用下的谐振频率的变化；其中，所述驱动单元包括静电式驱动单元，所述静电式驱动单元包括：固定电极，通过驱动单元锚定部固定并悬空，包括与所述驱动单元锚定部连接的多个固定梳齿部；以及振动电极，包括连接于所述振动单元上的多个振动梳齿部，多个所述振动梳齿部与多个所述固定梳齿部彼此相向延伸、并分别交替设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 谐振式电场传感器及其制备方法
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