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申请/专利权人：宁波海燕新材料有限公司
申请日：2022-11-08
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN115583803B
主分类号：C03C17/36
分类号：C03C17/36;C03B27/012
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2023.01.31#实质审查的生效;2023.01.10#公开
摘要：本发明公开了一种AZO透明导电薄膜及其制备方法，该AZO透明导电薄膜包括基片以及在基片上通过磁控溅射依次而得的Na离子阻挡层、Zn层、AZO层、氧阻挡层、减反层，随后，在600‑700℃下高温钢化处理，最终获得方阻低于20Ω，透过高于70％的AZO透明导电薄膜。
主权项：1.一种AZO透明导电薄膜，其特征为，包括基片以及在基片上通过磁控溅射依次而得的Na离子阻挡层、Zn层、AZO层、氧阻挡层、减反层；其中，Na离子阻挡层为在基片上溅射硅、氧化钛、氧化锆中的一种而得，氧阻挡层为在AZO层上溅射氧化硅、氮化硅、氧化锆、氧化钛、氧化锌锡中的一种而得，减反层为在氧阻挡层上溅射氧化硅、氟化镁中的一种而得；其中，Na离子阻挡层的膜层厚度10~20nm；Zn层的膜层厚度5~30nm；AZO层的膜层厚度300~500nm；氧阻挡层的膜层厚度30~50nm；减反层的膜层厚度40~150nm；其中，所述AZO透明导电薄膜经高温钢化处理，使得Zn层中的Zn原子进入AZO层形成隙位锌原子，使处于间隙位的锌原子的外层电子轨道上有未成对的电子，形成了自由电子，提高载流子浓度以及膜层的导电性能，最终得到的AZO透明导电薄膜方阻小于20欧姆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波海燕新材料有限公司 一种AZO透明导电薄膜及其制备方法
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