申请/专利权人:硅电子股份公司
申请日:2021-01-27
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN115038823B
主分类号:C30B15/10
分类号:C30B15/10;C03C17/00;C30B35/00;C03B19/06
优先权:["20200203 DE 102020000701.5"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.17#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开
摘要:用于根据切克劳斯基法提拉硅单晶的熔凝石英坩埚,其具有内侧,在该内侧上具有形成表面的熔凝石英的内层,所述内层提供有结晶促进剂,在指定用途在晶体提拉中加热所述熔凝石英坩埚时,所述结晶促进剂使熔凝石英结晶,以形成β‑方晶石,其特征在于,在距所述表面的距离d处,合成获得的SiO2的浓度C大于距所述表面的距离d2处合成获得的SiO2的浓度,其中d2大于d。
主权项:1.用于根据切克劳斯基技术提拉硅单晶的熔凝石英坩埚,其具有内侧,在该内侧上具有形成表面的熔凝石英的内层,所述内层提供有结晶促进剂,在其指定用途范围内在晶体提拉中加热所述熔凝石英坩埚时,所述结晶促进剂使熔凝石英结晶,以形成β-方晶石,其特征在于,在距所述表面的距离d处,合成获得的SiO2的浓度C大于距所述表面的距离d2处合成获得的SiO2的浓度,其中d2大于d,特征在于,合成获得的SiO2的浓度C作为距离d的函数符合以下关系:C[%]=100-d[mm]–0.25x30以及C[%]=100-d[mm]+0.25x80。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 硅电子股份公司 用于制造硅晶体的石英玻璃坩埚以及用于制造石英玻璃坩埚的方法
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