龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司
申请日：2020-11-27
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN112481605B
主分类号：C23C16/46
分类号：C23C16/46;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2021.03.30#实质审查的生效;2021.03.12#公开
摘要：本发明涉及一种二维材料化学沉积冷却系统，它包括制冷机、加热模块固定板、冷却盘孔、加热模块、热传感器、第一三通、第二三通、冷却介质输出主管、冷却介质输入主管、冷却盘管、冷却介质输入支管与冷却介质输出支管。本发明能对加热模块固定板进行有效冷却，避免了由于加热模块固定板温度过高而导致机械结构发生变形，保证了二维材料化学沉积过程的正常运行。
主权项：1.一种二维材料化学沉积冷却系统，包括制冷机（1）、加热模块固定板（2）、冷却盘孔（21）、加热模块（3）、热传感器（4）、第一三通（5）、第二三通（6）、冷却介质输出主管（71）、冷却介质输入主管（72）、冷却盘管（73）、冷却介质输入支管（74）与冷却介质输出支管（75）；其特征是：所述加热模块固定板（2）呈竖直设置，在加热模块固定板（2）的外侧设有制冷机（1），制冷机（1）内设有冷却介质，在加热模块固定板（2）的正面固定有加热模块（3），在加热模块固定板（2）上安装有热传感器（4），热传感器（4）与制冷机（1）相连，在加热模块固定板（2）的背面设有冷却盘管（73），在加热模块固定板（2）内设有冷却盘孔（21）；所述制冷机（1）的出口与冷却介质输出主管（71）的进口相接，冷却介质输出主管（71）的出口与第一三通（5）的进口相接，第一三通（5）的第一出口与冷却盘管（73）的进口相接，冷却盘管（73）的出口与第二三通（6）的第一进口相接；第一三通（5）的第二出口与冷却介质输入支管（74）的进口相接，冷却介质输入支管（74）的出口与冷却盘孔（21）的进口相接，冷却盘孔（21）的出口与冷却介质输出支管（75）的进口相接，冷却介质输出支管（75）的出口与第二三通（6）的第二进口相接；第二三通（6）的出口与冷却介质输入主管（72）的进口相接，冷却介质输入主管（72）的出口与制冷机（1）的进口相接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司 二维材料化学沉积冷却系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号