申请/专利权人：无锡地心科技有限公司

申请日：2022-07-29

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN115206414B

主分类号：G12B5/00

分类号：G12B5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2022.11.04#实质审查的生效;2022.10.18#公开

摘要：本发明公开了一种采用柔性簧片导向的多自由度对准平台，包括基座、转动设于基座上的用于承载工件的Chuck盘；还包括用于调平Chuck盘的z－tip－tilt运动机构以及为z－tip－tilt运动机构导向的导向机构；z－tip－tilt运动机构包括若干个设于基座上的调平部、设于调平部另一端的运动台，运动台设于Chuck盘的下表面用于承载Chuck盘，调平部用于校正Chuck盘的平行度；导向机构包括导向簧片；还包括theta－z运动组件，驱动Chuck盘对准Mark点。本发明用一体式柔性解耦的z－tip－tilt运动台，解耦刚度高，tip，tilt两轴解耦刚度一致，由于无摩擦，无回差，低发热，有极高的运动精度。

主权项：1.一种采用柔性簧片导向的多自由度对准平台，其特征在于：包括基座1、转动设于所述基座1上的用于承载工件的Chuck盘3；还包括用于调平所述Chuck盘3的z－tip－tilt运动机构以及为所述z－tip－tilt运动机构导向的导向机构；所述z－tip－tilt运动机构包括若干个设于所述基座1上的调平部、设于所述调平部另一端的运动台5，所述运动台5设于所述Chuck盘3的下表面用于承载所述Chuck盘3，所述调平部用于所述Chuck盘3的对准；所述导向机构包括导向簧片9，所述导向簧片9设置有固定部、移动部，所述固定部连接于所述基座1，所述移动部连接于所述运动台5且与所述运动台5做同步调平运动，使得所述移动部能够相对于所述固定部有tip－tilt位移，所述tip－tilt位移用于为所述运动台5导向；还包括theta－z运动组件4，所述theta－z运动组件4用于驱动所述Chuck盘3沿z轴转动使得所述Chuck盘3对准Mark点；所述调平部包括若干个音圈电机6，所述音圈电机6的固定端设置在所述基座1上，驱动端设置在所述运动台5上；所述若干个音圈电机6驱动伸出的距离不等使得所述运动台5由第一状态调整为第二状态，所述第一状态为与所述基座1不平行的状态，所述第二状态为与所述基座1平行的状态；所述导向簧片9的中心开设有中心孔，所述固定部和所述移动部均设于所述中心孔的边缘，且所述固定部和所述移动部均为多个且相互交错设置；所述导向簧片9沿径向开设有若干条切线槽903，所述切线槽903的内端连通于所述中心孔，且每一条所述切线槽903均位于相邻的所述固定部和所述移动部之间，使得所述导向簧片9能够有tip－tilt位移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡地心科技有限公司 一种采用柔性簧片导向的多自由度对准平台

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