申请/专利权人：杭州富加镓业科技有限公司

申请日：2022-04-29

公开（公告）日：2024-05-17

公开（公告）号：CN114808118B

主分类号：C30B25/08

分类号：C30B25/08;C30B25/20;C30B25/10;C30B30/00;C30B29/40

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.17#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2022.07.29#公开

摘要：本发明提供了一种在导电型氧化镓衬底上制备同质外延氧化镓薄膜的方法及分子束外延设备，所述分子束外延设备包括MEB生长室、设置在所述MEB生长室内的不锈钢托盘，以及设置在所述不锈钢托盘底端的导电型氧化镓衬底，其特征在于，所述导电型氧化镓衬底的下方对应设置有激光器，所述激光器发出的激光波长为1800‑2200nm，且所述激光器发出的激光光斑覆盖对应导电型氧化镓衬底的整个底部。本发明通过所述激光器以激光加热的方法直接加热MEB生长室内的导电型氧化镓衬底，使导电型氧化镓衬底均匀受热，制备出高质量、厚度均匀的非故意掺杂氧化镓同质外延片。

主权项：1.一种基于分子束外延设备在导电型氧化镓衬底上制备同质外延氧化镓薄膜的方法，其特征在于，所述分子束外延设备包括MEB生长室、设置在所述MEB生长室内的不锈钢托盘，以及设置在所述不锈钢托盘底端的导电型氧化镓衬底，所述导电型氧化镓衬底的下方对应设置有激光器，所述激光器发出的激光波长为1800-2200nm，且所述激光器发出的激光光斑覆盖对应导电型氧化镓衬底的整个底部，所述方法包括步骤：预先启动分子泵对MBE生长室进行抽真空处理；将导电型氧化镓衬底固定在不锈钢托盘的底端，且所述导电型氧化镓衬底的生长面朝下；停止分子泵，向快速进样腔中充入氮气破真空后，将所述固定有导电型氧化镓衬底的不锈钢托盘放入所述快速进样腔中；设置Ga金属蒸发源的蒸发温度，当Ga金属蒸发源达到预先设定的蒸发温度时，控制Ga金属蒸发源的速流强度；启动分子泵，对所述快速进样腔进行抽真空处理，当快速进样腔真空度低于10-8mbar时，将所述固定有导电型氧化镓衬底的不锈钢托盘传入所述MBE生长室中，打开所述激光器加热所述导电型氧化镓衬底；缓慢打开氧等离子体源管路角阀，在数字流量计上设定氧气流量0.2-1sccm；当所述激光器将所述导电型氧化镓衬底加热至预设的薄膜生长温度后，开启氧源，通入臭氧，等待氧压稳定，将Ga金属蒸发源的挡板控制设定为自动模式，进行同质外延氧化镓薄膜生长；当同质外延氧化镓薄膜的生长厚度达到50-500纳米时，生长完成，Ga金属蒸发源的挡板自动关闭，保持氧源供应；当导电型氧化镓衬底温度低于200℃时，切断氧源，关闭激光器，完成同质外延氧化镓薄膜制备；预先启动分子泵对MBE生长室进行抽真空处理的步骤中，将所述MBE生长室抽真空至低于2×10-9mbar；所述Ga金属蒸发源预先设定的蒸发温度为1000-1200℃，升温速率为2-10℃min；所述Ga金属蒸发源的速流强度为1×10-8-9×10-7mbar；所述激光器将所述导电型氧化镓衬底加热至预设的薄膜生长温度步骤中，预设的薄膜生长温度为600-1000℃，升温速率为5-15℃min；同质外延氧化镓薄膜的生长速度为10-100纳米小时。

全文数据：

权利要求：

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