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申请/专利权人：道格特半导体科技(江苏)有限公司
申请日：2023-09-21
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220983340U
主分类号：G01R1/04
分类号：G01R1/04;G01R31/26;G05D23/19
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型公开了一种用于探针台的保温装置，包括测试台、托盘、检测头、热风提供装置以及冷风提供装置。本实用新型，圆晶装夹在托盘上，保温箱通过第一气缸带动下降到与测试台贴合，下降过程中通过支撑罩撑开两组盖板，使得圆晶可以被检测头检测，通过热风提供装置、冷风提供装置以及温度传感器进行调整保温箱内部的温度，达到测试温度环境后开始检测，检测完成后，第一气缸带动保温箱升起，升起的过程中，盖板通过扭簧的弹力重新覆盖检测孔，使得保温箱处于封闭状态，内部温度变化小，后续再次检测时，温度调整时间短，大大提高了生产效率，且非常节能。
主权项：1.一种用于探针台的保温装置，包括测试台1、托盘15、检测头11、热风提供装置以及冷风提供装置，所述托盘15设置在测试台1上壁，所述检测头11与托盘15上下相对，其特征在于：所述测试台1上壁且位于托盘15后侧固定连接有支撑罩16，所述支撑罩16俯视投影呈C型，所述测试台1上壁滑动连接有保温箱2，所述检测头11通过第一升降结构设置在保温箱2内侧上壁，所述保温箱2前壁固定连接有用于方便观察检测情况的可视窗17，所述保温箱2左右两侧壁均固定连接有侧板3，所述侧板3与测试台1之间设置有用于驱动保温箱2升降的第二升降结构，所述侧板3与测试台1之间还设置有用于保温箱2升降时保持平稳的导向结构，所述保温箱2下壁设置有呈内外贯通的检测孔12，所述检测孔12与支撑罩16呈上下对应，所述支撑罩16高度为检测孔12轴向高度的两到三倍，所述检测孔12内侧壁且靠近上口位置设置有沉台，所述沉台内侧壁设置有用于保温箱2升起后封闭检测孔12的封闭结构，所述保温箱2后壁设置有用于控制保温箱2内部温度的温控结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 道格特半导体科技(江苏)有限公司 一种用于探针台的保温装置
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