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申请/专利权人：化合积电(厦门)半导体科技有限公司
申请日：2023-09-27
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220982458U
主分类号：G01J5/02
分类号：G01J5/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型提供了一种MPCVD设备的测温传感器支架，包括固定座、导轨、滑块、安装架、测角仪和传感器，固定座为圆环型，导轨径向固定于固定座的圆环上，滑块设于安装架下端与导轨连接，测角仪竖直安装于安装架内侧，传感器竖直设于测角仪上。该安装架整体结构简单、操作方便、检测精度高，能够快速、精准改变检测方向或是调节检测角度，进行竖直角度、水平位置、前后位置的全方位调整；该传感器安装架与化学气相沉积的微波等离子体反应腔及设备配套使用，用于调整红外传感器位置，以便精准对MPCVD内部金刚石生长精准测温，为实现金刚石的高质量生长提供基础，具有很好的应用价值，有利于推广应用。
主权项：1.一种MPCVD设备的测温传感器支架，其特征在于，包括固定座、导轨、滑块、安装架、测角仪和传感器，所述固定座为圆环型，所述导轨径向固定于固定座的圆环上，所述滑块设于安装架下端与导轨连接，所述测角仪竖直安装于安装架内侧，所述传感器竖直设于测角仪上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 化合积电(厦门)半导体科技有限公司 一种MPCVD设备的测温传感器支架
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