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申请/专利权人：西安炬光科技股份有限公司
申请日：2023-10-07
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220983495U
主分类号：G01S7/481
分类号：G01S7/481;G01S17/88
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型公开了一种基于MEMS镜阵的扫描模组和激光雷达，所述扫描模组包括光信号交换模块、光发射模块以及光接收模块，所述扫描模组通对所述光信号交换模块的改善了所述扫描模组的通光孔径，增加了光源发光面积，增加光源功率，提高扫描距离和质量。另外，通过对所述光发射模块中出光结构的设计，实现了光源在平面内任意位置垂直出光，避免出光点位于边缘时受到边缘应力和温度效应的影响，提高了扫描模组的分辨率和可靠性，还降低了整体结构设计的复杂程度，提高了空间的利用率。
主权项：1.一种基于MEMS镜阵的扫描模组，所述扫描模组包括光信号交换模块、光发射模块以及光接收模块，其特征在于：所述光发射模块用于向所述光信号交换模块发射第一光子，所述光发射模块经构造成以垂直于所述光发射模块所在表面的方式向所述光信号交换模块出射第一光子；所述光信号交换模块包括至少一个光交换单元，所述光交换单元经配置成组成所述光信号交换模块的最小子单元，所述光交换单元包括至少一个MEMS微镜列，所述微镜列经构造成绕自身中心轴线俯仰以突出所述光交换单元表面，所述光交换单元经构造成绕自身中心轴线旋转，其中，所述镜列中心轴线与所述光交换单元中心轴线互相垂直；所述光接收模块用于接收第二光子并转换为第一电信号以获得目标的位置信息，所述第二光子由所述第一光子照射在所述目标后漫反射获得，其中，所述第二光子由所述镜列反射进入所述光接收模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安炬光科技股份有限公司 一种基于MEMS镜阵的扫描模组和激光雷达
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