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申请/专利权人：郑州轨道交通信息技术研究院
申请日：2023-09-01
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220984476U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/683;H01L21/306;G01N33/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型属于仪器仪表制造技术领域，特别是涉及一种背部湿法腐蚀工艺中的正面保护装置，包括螺旋推杆、挡环、第一密封垫圈、第二密封垫圈、外壳，挡环、第一密封垫圈、第二密封垫圈均位于外壳的内部，且第一密封垫圈、第二密封垫圈、挡环从下到上依次设置，第一密封垫圈和第二密封垫圈之间放置晶圆，且晶圆的背面朝下。可以方便快捷地进行晶圆的背部湿法腐蚀操作，且完成湿法腐蚀工艺的晶圆也可以方便地取出；可以有效地实现晶圆背部湿法腐蚀工艺中的正面保护，提高气体传感器的成品率。
主权项：1.一种背部湿法腐蚀工艺中的正面保护装置，其特征在于：包括螺旋推杆1、挡环2、第一密封垫圈3、第二密封垫圈5、外壳6，所述挡环2、所述第一密封垫圈3、所述第二密封垫圈5均位于所述外壳6的内部，且所述第一密封垫圈3、所述第二密封垫圈5、所述挡环2从下到上依次设置，所述第一密封垫圈3和所述第二密封垫圈5之间放置晶圆4，且所述晶圆4的背面朝下，所述挡环2上方设置有所述螺旋推杆1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州轨道交通信息技术研究院 一种背部湿法腐蚀工艺中的正面保护装置
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