申请/专利权人:江苏深绿新能源科技有限公司
申请日:2023-11-21
公开(公告)日:2024-05-17
公开(公告)号:CN220979793U
主分类号:F04B37/14
分类号:F04B37/14;F04B41/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.05.17#授权
摘要:本实用新型涉及的一种粗真空和高真空独立可切换的抽真空装置,包括一条粗真空主管、一条高真空主管以及设置在架空平台上的抽真空机组,粗真空主管和高真空主管延伸至架空平台的下方,所述粗真空主管和高真空主管之间设有多条连接管路,每条连接管路对应一条真空腿管,连接管路与粗真空主管连接的一端设有粗真空插板阀,连接管路与高真空主管连接的一端设有高真空插板阀,连接管路通过旁通管线连接真空腿管,真空腿管上设置一排多个均布的真空抽气抽口,真空抽气抽口通过抽空连接阀连接待抽容器。本实用新型实现对容器夹层材料的热冲洗以及粗真空到高真空的满足条件自动切换,缩短了抽真空系统的运行时间,节约了人力资源和能耗。
主权项:1.一种粗真空和高真空独立可切换的抽真空装置,其特征在于:它包括一条粗真空主管(1)、一条高真空主管(2)以及设置在架空平台上的抽真空机组,所述架空平台的下方设置机架支撑,所述粗真空主管(1)和高真空主管(2)延伸至架空平台的下方,架空平台的下方设置多条真空腿管(10);所述抽真空机组包括粗真空冷阱(3)、高真空冷阱(4)、粗真空滑阀泵(5)、第一扩散泵(6)和第一机械泵(8);所述粗真空冷阱(3)通过粗真空前真空插板阀(3.1)连接粗真空主管(1)的一端,所述粗真空冷阱(3)通过粗真空后真空插板阀(3.2)连接粗真空滑阀泵(5);所述高真空冷阱(4)通过高真空前真空插板阀(4.1)连接高真空主管(2)的一端,所述高真空冷阱(4)通过第一高真空后真空插板阀(4.2)连接第一扩散泵(6),所述第一扩散泵(6)通过第一挡板阀(8.1)连接第一机械泵(8);所述粗真空主管(1)和高真空主管(2)之间设有多条连接管路(11),每条连接管路(11)对应一条真空腿管(10),所述连接管路(11)与粗真空主管(1)连接的一端设有粗真空插板阀(11.1),所述连接管路(11)与高真空主管(2)连接的一端设有高真空插板阀(11.2),所述连接管路(11)通过旁通管线(12)连接真空腿管(10),所述旁通管线(12)上设有旁通真空挡板阀(12.1),所述真空腿管(10)上设置一排多个均布的真空抽气抽口(10.1),所述真空抽气抽口(10.1)通过抽空连接阀(10.2)连接待抽空容器。
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权利要求:
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