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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2023-09-26
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220984479U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型提供一种清洗装置，包括夹持部件、检测部件和背面清洗部件，夹持部件用于对晶圆进行夹持，检测部件设置在夹持部件上，用于对夹持部件夹持的晶圆的背面的污染状态进行检测，背面清洗部件设置在夹持部件上，用于对夹持部件夹持的晶圆的背面进行清洗。本实用新型提供的清洗装置，能够减少晶圆背面受到污染的情况，提高晶圆背面的清洁度，减少半导体工艺中晶圆因背面受到污染而带来的问题，并且，能够有针对性的对受到污染的晶圆背面进行清洗，而非无差别的对每个晶圆的背面均进行清洗。
主权项：1.一种清洗装置，其特征在于，包括夹持部件、检测部件和背面清洗部件，所述夹持部件用于对晶圆进行夹持，所述检测部件设置在所述夹持部件上，用于对所述夹持部件夹持的所述晶圆的背面的污染状态进行检测，所述背面清洗部件设置在所述夹持部件上，用于对所述夹持部件夹持的所述晶圆的背面进行清洗。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 清洗装置
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