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申请/专利权人：三菱电机株式会社
申请日：2021-10-05
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118043949A
主分类号：H01L21/60
分类号：H01L21/60;H01L21/607
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：本发明的一个方式涉及的楔形工具用于通过按压金属导线2、施加超声波振动而将金属导线2接合至被接合体6的楔形键合，其具有：导线保持槽3，其在楔形工具的前端部1沿金属导线2的长度方向延伸，保持金属导线2；以及凸部8，其在导线保持槽3的槽底部5至少形成2个，以侧面与导线保持槽3的侧壁4分离的方式在金属导线2的长度方向上排列。由此，通过对在金属导线2形成的接触痕迹9、而不是被按压而发生了变形的金属导线2的外观形状进行检查，从而能够确认是否向被接合体6施加了过大的力，因此能够抑制检查精度的降低。
主权项：1.一种楔形工具，其用于通过按压金属导线、施加超声波振动而将所述金属导线接合至被接合体的楔形键合，其中，所述楔形工具具有：导线保持槽，其在所述楔形工具的前端部沿所述金属导线的长度方向延伸，保持所述金属导线；以及凸部，其在所述导线保持槽的槽底部至少形成2个，以侧面与所述导线保持槽的侧壁分离的方式在所述金属导线的长度方向上排列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱电机株式会社 楔形工具以及半导体装置的制造方法
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