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申请/专利权人：株式会社迪思科
申请日：2023-11-07
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118039529A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：["20221111 JP 2022-180785"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.05.14#公开
摘要：本发明提供带粘贴装置，其能够在每次对带施加相同的张力的状态下将带粘贴于被加工物。带粘贴装置包含：保持工作台，其对被加工物进行保持；送带轴，其对具有剥离纸的卷状带的轴心进行支承并旋转；带粘贴辊，其将带推抵于保持工作台所保持的被加工物而进行粘贴；卷绕辊，其对剥离纸P进行卷绕；引导辊，其将剥离纸向卷绕辊引导；以及控制器。控制器测量相对于卷状带的送出量的送带轴的旋转角度，求出卷状带的半径，对半径×张力＝该送带轴的扭矩进行控制，以使得送带轴维持规定的张力。
主权项：1.一种带粘贴装置，其将带粘贴于被加工物，其中，该带粘贴装置包含：保持工作台，其对被加工物进行保持；送带轴，其对具有剥离纸的卷状带的轴心进行支承并旋转；带粘贴辊，其将带推抵于该保持工作台所保持的该被加工物而进行粘贴；卷绕辊，其对剥离纸进行卷绕；引导辊，其将该剥离纸向该卷绕辊引导；以及控制器，该控制器测量相对于该卷状带的送出量的该送带轴的旋转角度，求出该卷状带的半径，对半径×张力＝该送带轴的扭矩进行控制，以使得该送带轴维持规定的张力。
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