申请/专利权人:舜宇奥来微纳光电信息技术(上海)有限公司
申请日:2024-03-15
公开(公告)日:2024-05-14
公开(公告)号:CN118032298A
主分类号:G01M11/02
分类号:G01M11/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要:本申请涉及一种光波导测试系统及方法。系统包括光波导、解耦组件以及测试组件:光波导包括至少两个光栅;解耦组件在预设位置与光波导的衬底贴合,用于将光波导中的光线耦出至测试组件;预设位置基于至少两个光栅在光波导中的位置确定;测试组件用于对解耦组件在至少一个预设位置耦出的光线进行检测,得到光波导中至少两个光栅的测试结果,采用本系统可以进一步地确定光波导的异常来源,达到提高检测精细程度的效果。
主权项:1.一种光波导测试系统,其特征在于,所述光波导测试系统包括光波导、解耦组件以及测试组件:所述光波导包括至少两个光栅;所述解耦组件在预设位置与所述光波导的衬底贴合,用于将所述光波导中的光线耦出至所述测试组件;所述预设位置基于所述至少两个光栅在所述光波导中的位置确定;所述测试组件用于对所述解耦组件在至少一个预设位置耦出的光线进行检测,得到所述光波导中所述至少两个光栅的测试结果。
全文数据:
权利要求:
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