申请/专利权人:株式会社LG新能源
申请日:2022-12-23
公开(公告)日:2024-05-14
公开(公告)号:CN118043653A
主分类号:G01N23/2251
分类号:G01N23/2251;G01N23/2204;G01N23/2206;G01N27/64;H01J49/04
优先权:["20220503 KR 10-2022-0054691"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要:本发明涉及一种集成FESEM和LDI‑TOF‑MS分析系统,并且提供如下一种集成FESEM和LDI‑TOF‑MS分析系统:其能够对要被分析的单个样品进行FESEM分析和LDI‑TOF‑MS分析,而不将样品暴露于大气。
主权项:1.一种集成分析系统,包括:第一样品保持器,所述第一样品保持器中形成有第一封闭空间;第二样品保持器,所述第二样品保持器中形成有第二封闭空间;第一分析单元,所述第一样品保持器被安装在所述第一分析单元上,并且在所述第一分析单元中对用于分析的样品进行第一分析;第二分析单元,所述第二样品保持器被安装在所述第二分析单元上,并且在所述第二分析单元中对用于分析的样品进行第二分析;样品板,所述样品板被安装在所述第一样品保持器中的所述第一封闭空间或所述第二样品保持器中的所述第二封闭空间中,其中,用于分析的所述样品被安装在所述样品板的上表面上;以及手套箱单元,在所述手套箱单元中形成有用于分析的样品的转移空间,其中,所述样品板被容纳在所述第一封闭空间、所述用于分析的样品的转移空间和所述第二封闭空间中的一个空间中,使得保持未暴露于大气的状态,并且在所述用于分析的样品的转移空间内从所述第一样品保持器和所述第二样品保持器中的一个样品保持器分离,以便安装在另一个样品保持器上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社LG新能源 集成FESEM和LDI-TOF-MS分析系统
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