申请/专利权人：桂林狮达技术股份有限公司

申请日：2020-05-19

公开（公告）日：2024-05-14

公开（公告）号：CN111477529B

主分类号：H01J29/48

分类号：H01J29/48;H01J29/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.14#授权;2020.08.25#实质审查的生效;2020.07.31#公开

摘要：本发明公开自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法，采用分裂式罗柯夫斯基线圈作为检测元件，结合脉冲电子束技术，实现了电子束斑点形貌的无接触检测。分裂式罗柯夫斯基线圈以差模信号输出，以检测信号的最小值为消像散装置校正目标，既简化了检测信号的处理方式又消除了共模干扰信号的影响，提高检测的灵敏性和精度。分轴搜寻“最佳”消像散装置的励磁电流，实现快速搜寻。检测信号的幅值及平均值的加权值更能充分体现电子束斑点形貌的差异，以加权值综合数据作为判断依据，“最佳”值的两轮搜寻确认，进一步提高可靠性及减少随机性。

主权项：1.自动消像散电子枪，包括中央控制器1、电子源电源2、驱动电源3和电子枪本体11；电子束发生器5、消像散装置6和聚焦装置7自上而下设置在电子枪本体11内；消像散装置6包括两相消像散绕组，这两相消像散绕组组成多对磁极轴对称结构；中央控制器1的电子束控制电压信号输出端连接电子源电源2的控制输入端，电子源电源2的输出端连接电子束发生器5；中央控制器1的第一消像散控制电压信号输出端连接驱动电源3的第一控制输入端，驱动电源3的第一输出端连接消像散装置6的第一消像散绕组；中央控制器1的第二消像散控制电压信号输出端连接驱动电源3的第二控制输入端，驱动电源3的第二输出端连接消像散装置6的第二消像散绕组；其特征在于：还进一步包括检测装置8和信号处理电路4；检测装置8设置在电子枪本体11内，并位于聚焦装置7正下方的电子束9出口端；检测装置8包括骨架85和四组检测绕组；骨架85为非导磁绝缘材料的环状结构；四组绕组的匝数及线径都相同，并同时绕制在骨架85上且呈均匀对称分布；第一检测绕组81和第三检测绕组83在骨架85上径向相对设置，且第一检测绕组81的末端与第三检测绕组83的首端相连；第二检测绕组82和第四检测绕组84在骨架85上径向相对设置，且第二检测绕组82的末端和第四检测绕组84的首端相连；检测装置8的第一检测绕组81的首端与第二检测绕组82的首端相连再接至信号处理电路4的公共输入端，检测装置8的第三检测绕组83的末端接至信号处理电路4的第二输入端，检测装置8的第四检测绕组84的末端接至信号处理电路4的第一输入端；信号处理电路4的输出端连接中央控制器1的输入端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 桂林狮达技术股份有限公司 自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法

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