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申请/专利权人：上海征世科技股份有限公司
申请日：2022-08-11
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN115287635B
主分类号：C23C16/511
分类号：C23C16/511;C23C16/04;C23C16/27;C23C16/458
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.14#授权;2022.11.22#实质审查的生效;2022.11.04#公开
摘要：本发明公开了一种管状材料内表面进行MPCVD的方法及装置，包括：操作台，所述操作台的上表面设置有支撑块，所述操作台的上表面放置有管材，所述管材的内部贯穿有金属丝，所述金属丝的表面安装有金属刺，所述金属丝连接着支撑块的侧表面，所述支撑块的侧表面连接有导向块，所述导向块的内部贯穿有导向杆。该管状材料内表面进行MPCVD的方法及装置，管材放在操作台表面，金属丝带动金属刺贯穿管材的内部并连接在支撑块的表面，然后可以转动螺纹杆，螺纹杆转动可以通过螺纹槽对支撑块的高度进行调节，支撑块运动可以带动金属丝进行纵向运动，当金属丝的位置位于管材的横向中轴线的位置时，方便对管材的内壁进行均匀的沉淀镀膜。
主权项：1.一种管状材料内表面进行MPCVD的装置，包括：操作台1，其特征在于，所述操作台1的上表面设置有支撑块2，所述操作台1的上表面放置有管材3，所述管材3的内部贯穿有金属丝4，所述金属丝4的表面安装有金属刺5，所述金属丝4连接着支撑块2的侧表面，所述支撑块2的侧表面连接有导向块6，所述导向块6的内部贯穿有导向杆7，所述导向杆7连接在操作台1的上表面，所述操作台1的内部嵌合安装有第一轴承8，所述第一轴承8的内部贯穿连接有螺纹杆9，靠近螺纹杆9的所述支撑块2的底侧表面开设有螺纹槽10；所述操作台1的上表面开设有条形槽11，所述条形槽11的内部连接有连接块12，所述连接块12的上表面连接有限位块13，所述连接块12的下表面连接有螺纹套14，两个所述螺纹套14的内部贯穿有双向丝杆15，所述双向丝杆15与操作台1之间安装有轴承座16；所述导向块6与导向杆7关于操作台1的纵向中轴线对称设置有两组，所述导向块6与导向杆7之间为滑动连接，所述导向杆7与操作台1上表面连接处的夹角为90°；所述螺纹杆9与第一轴承8之间构成旋转结构；所述螺纹杆9通过螺纹槽10与支撑块2之间构成螺纹升降结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海征世科技股份有限公司 一种管状材料内表面进行MPCVD的方法及装置
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