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申请/专利权人：湖北江海行纳米科技有限公司
申请日：2023-08-25
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN220952038U
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种CVD沉积炉进料装置，包括沉积炉和支撑台,所述支撑台顶部的中间位置安装有沉积炉，且所述支撑台顶部的一侧安装有护罩，所述护罩顶部的一侧设有电机三，且所述电机三的输出端贯穿护罩连接有齿轮轴一，且所述齿轮轴一上安装有齿轮一，所述护罩顶部的中间位置通过轴承安装有齿轮轴二，且所述齿轮轴二上安装有齿轮二，且齿轮一和齿轮二相互啮合，所述齿轮轴二顶部的两侧皆安装有支杆，且所述支杆的另一端皆安装有送料机构。本实用新型通过上料框自动移至上料点，不用人工移动上料框，然后使送料机构移至上料框上方，并通过底座上的伸缩杆伸出推动送料框向上料框到料，实现自动化上料防止高温烫伤工人。
主权项：1.一种CVD沉积炉进料装置，其特征在于：包括沉积炉（1）和支撑台（2）,所述支撑台（2）顶部的中间位置安装有沉积炉（1），且所述沉积炉（1）的一侧安装有收线机构（3），且所述支撑台（2）顶部的一侧安装有护罩（16），所述护罩（16）顶部的一侧设有电机三（12），且所述电机三（12）的输出端贯穿护罩（16）连接有齿轮轴一（13），且所述齿轮轴一（13）上安装有齿轮一（14），所述护罩（16）顶部的中间位置通过轴承安装有齿轮轴二（18），且所述齿轮轴二（18）上安装有齿轮二（15），且齿轮一（14）和齿轮二（15）相互啮合，所述齿轮轴二（18）顶部的两侧皆安装有支杆（17），且所述支杆（17）的另一端皆安装有送料机构（9）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北江海行纳米科技有限公司 一种CVD沉积炉进料装置
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