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申请/专利权人：苏州鑫睿微电子设备有限公司
申请日：2023-10-12
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN220963238U
主分类号：H01J49/26
分类号：H01J49/26;H01J49/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.14#授权
摘要：本实用新型公开了具有新型真空结构的电感耦合等离子体质谱仪，包括底板、质谱仪本体、防护箱和顶盖，底板顶部的左侧固定有质谱仪本体，底板顶部靠近质谱仪本体的位置固定有防护箱，质谱仪本体内部的顶部固定有风口，质谱仪本体的顶部连接有单向阀，单向阀与风口相互连接，单向阀上连接有气管，防护箱的内部固定有过滤器，过滤器的内部设置有第一滤芯，第一滤芯的内部设置有第二滤芯，气管的一端与过滤器的顶部相互连接，过滤器的底部通过管道连接有真空泵。本实用新型真空泵将内部抽成真空，然后气体经过第一滤芯和第二滤芯进行吸附，从而避免有害气体排到周围环境中，污染环境。
主权项：1.具有新型真空结构的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：包括底板1、质谱仪本体3、防护箱4和顶盖15，所述底板1顶部的左侧固定有质谱仪本体3，所述底板1顶部靠近质谱仪本体3的位置固定有防护箱4，所述质谱仪本体3内部的顶部固定有风口10，所述质谱仪本体3的顶部连接有单向阀11，所述单向阀11与风口10相互连接，所述单向阀11上连接有气管24，所述防护箱4的内部固定有过滤器12，所述过滤器12的内部设置有第一滤芯25，所述第一滤芯25的内部设置有第二滤芯26，所述气管24的一端与过滤器12的顶部相互连接，所述过滤器12的底部通过管道连接有真空泵13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州鑫睿微电子设备有限公司 具有新型真空结构的电感耦合等离子体质谱仪
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