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申请/专利权人：富乐德科技发展(天津)有限公司
申请日：2023-09-05
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN220944849U
主分类号：B24C3/02
分类号：B24C3/02;B24C9/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.14#授权
摘要：本实用新型是一种CVD制程加热盘部件喷砂及测量辅助治具，包括箱体平台，箱体平台中部穿设有外圆筒，外圆筒顶部设有顶封板且底部设有底封板，顶封板、底封板之间设有内圆筒，内圆筒上下两端贯穿设置，外圆筒顶封板上在内圆筒外围圆周均布有若干垫块，箱体平台内设有转动驱动组件、升降驱动组件，转动驱动组件连接在外圆筒底封板底部，升降驱动组件安装在转动驱动组件下方。本实用新型用于半导体CVD制成中的加热盘部件在喷砂作业及工作面测量过程中进行辅助调整，可调整部件放置高度及方向，省时省力，方便作业。
主权项：1.一种CVD制程加热盘部件喷砂及测量辅助治具，其特征在于，包括箱体平台1，箱体平台1中部穿设有外圆筒2，外圆筒2顶部设有顶封板且底部设有底封板，顶封板、底封板之间设有内圆筒3，内圆筒3上下两端贯穿设置，外圆筒2顶封板上在内圆筒3外围圆周均布有若干垫块4，箱体平台1内设有转动驱动组件、升降驱动组件，转动驱动组件连接在外圆筒2底封板底部，升降驱动组件安装在转动驱动组件下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富乐德科技发展(天津)有限公司 一种CVD制程加热盘部件喷砂及测量辅助治具
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