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适于平面基底的阳极氧化铝模板贴合装置及方法 

申请/专利权人:清华大学

申请日:2024-01-29

公开(公告)日:2024-06-04

公开(公告)号:CN118136553A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/02;B82Y40/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.06.21#实质审查的生效;2024.06.04#公开

摘要:本发明涉及纳米结构制备领域,提供一种适于平面基底的阳极氧化铝模板贴合装置及方法,阳极氧化铝模板贴合装置包括:凹模,凹模上设有第一盲孔,第一盲孔的孔口适于通过阳极氧化铝模板覆盖,第一盲孔的孔底设有用于容纳基底并为基底定位的第二盲孔,第二盲孔的深度小于基底的厚度;管体,管体用于伸入第一盲孔并与第一盲孔滑动配合,并且管体设置为能够套在基底的外侧。采用管体与第一盲孔配合产生的剪切作用完成对阳极氧化铝模板的切割,能够通过第一盲孔和管体二者的尺寸精度和配合精度,保证阳极氧化铝模板的尺寸精度和形状精度,受人工熟练度影响较小,从而能够提高阳极氧化铝模板与基底的适配性。

主权项:1.一种适于平面基底的阳极氧化铝模板贴合装置,其特征在于,用于将阳极氧化铝模板5贴合于基底4,阳极氧化铝模板贴合装置包括:凹模1,所述凹模1上设有第一盲孔101,所述第一盲孔101的孔口适于通过所述阳极氧化铝模板5覆盖,所述第一盲孔101的孔底设有用于容纳所述基底4并为所述基底4定位的第二盲孔102,所述第二盲孔102的深度小于所述基底4的厚度;管体2,所述管体2用于伸入所述第一盲孔101并与所述第一盲孔101滑动配合,并且所述管体2设置为能够套在所述基底4的外侧。

全文数据:

权利要求:

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