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【发明公布】一种振镜校正系统及振镜校正方法_江苏元夫半导体科技有限公司_202410573445.2 

申请/专利权人:江苏元夫半导体科技有限公司

申请日:2024-05-10

公开(公告)日:2024-06-04

公开(公告)号:CN118123288A

主分类号:B23K26/70

分类号:B23K26/70;G06T7/73;G06T7/00;G06T1/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.04#公开

摘要:本申请提供一种振镜校正系统及振镜校正方法,振镜校正系统包括校正平台模块、激光加工模块、图像采集模块、正交角度偏差计算模块以及偏差处理模块,校正平台模块用于承载标记有多个第一标记点的校正板或标靶,并带动校正板或标靶沿预设方向移动;激光加工模块用于按预设坐标在标靶上标记多个第二标记点;图像采集模块用于获取多个第一标记点的实际坐标和多个第二标记点的实际坐标;正交角度偏差计算模块用于根据多个第一标记点的实际坐标计算校正平台模块的正交角度偏差;偏差处理模块用于将正交角度偏差补偿于多个第二标记点的实际坐标,并根据补偿后的多个第二标记点的实际坐标和对应的预设坐标得到振镜的定位偏差,从而提高振镜的定位精度。

主权项:1.一种振镜校正系统,其特征在于,包括:校正平台模块,所述校正平台模块用于承载标记有多个第一标记点的校正板或用于承载标靶,并带动所述校正板或所述标靶沿预设方向移动,所述预设方向包括第一方向和第二方向,所述第一方向和所述第二方向垂直;激光加工模块,所述激光加工模块包括激光源和设置于所述激光源出射光路上的振镜,所述振镜用于反射所述激光源出射的激光束,以使所述激光束按预设坐标在所述标靶上标记多个第二标记点;图像采集模块,所述图像采集模块设置于所述校正平台模块的上方,所述图像采集模块用于获取多个所述第一标记点的实际坐标以及多个所述第二标记点的实际坐标;正交角度偏差计算模块,所述正交角度偏差计算模块用于通过最小二乘法或主成分分析法根据多个所述第一标记点的实际坐标计算所述校正平台模块的正交角度偏差;偏差处理模块,所述偏差处理模块用于根据正交变换公式将所述正交角度偏差补偿于多个所述第二标记点的实际坐标,并根据补偿后的多个所述第二标记点的实际坐标与对应的所述第二标记点的预设坐标作差,得到所述振镜的定位偏差。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏元夫半导体科技有限公司 一种振镜校正系统及振镜校正方法

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