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一种用于隔离的阀板和驱动所述阀板的驱动装置以及阀 

申请/专利权人:北京真空电子科技有限公司

申请日:2022-03-09

公开(公告)日:2024-06-04

公开(公告)号:CN114607784B

主分类号:F16K3/02

分类号:F16K3/02;F16K3/30;F16K31/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.04#授权;2022.06.28#实质审查的生效;2022.06.10#公开

摘要:一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体,其特征在于,所述阀板本体包括具有从所述工作面向所述远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分,还涉及驱动装置以及用于真空密封的阀。

主权项:1.一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体,其特征在于,所述阀板本体包括具有从所述工作面向远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分,还包括向上倾斜的第三被驱动部分,阀板上安装有密封圈,阀板通过阀板导向条与阀板支架连接,穿过阀板导向条的阀板轴上设置有阀板复位弹簧,阀板支架两侧有长圆孔的导向槽,阀板导向条可以通过其上的轴承在槽内自由滑动,压紧滑块通过导向杆连接在阀板支架上,且可以在导向杆上自由滑动,在压紧滑块与阀板支架之间有滑块复位弹簧套在导向杆上,阀板、压紧滑块和阀板支架三者通过斜面接触,当压紧滑块向阀板靠近时,斜面可以挤压阀板向上平移。

全文数据:

权利要求:

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