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恭喜青岛金汇源电子有限公司"一种新型硅片涂源装置"专利获国家实用新型专利权

龙图腾网恭喜青岛金汇源电子有限公司申请的专利一种新型硅片涂源装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN209747483U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-12-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201921052808.9,技术领域涉及:H01L21/67(20060101);该实用新型一种新型硅片涂源装置是由王宇;李德鹏设计研发完成,并于2019-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种新型硅片涂源装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种新型硅片涂源装置,包括底座、储液箱、刷液辊,所述底座呈长方体形,所述底座的左上端焊接有储液箱,所述储液箱里放置有刷液辊,所述底座的右侧设有硅片放置槽,所述硅片放置槽由圆弧形槽和矩形槽共同构成,所述圆弧形槽的直径与硅片的直径大小相等,且圆弧形槽的深度与硅片的的厚度大小相等,所述矩形槽的深度比圆弧形槽的深度深1~1.5cm,所述第一排硅片放置槽和第二排硅片放置槽对称线处的底座上焊接有挡板,所述刷液辊由手柄、支架和刷辊构成。本实用新型涂源装置结构简单,方便操作,设有刷液辊,一次可将多个硅片放置槽内的硅片涂源,不仅提高了涂源效率,而且可以保证涂源的均匀性,实用性强。

本实用新型一种新型硅片涂源装置在权利要求书中公布了:1.一种新型硅片涂源装置,包括底座1、储液箱3、刷液辊,其特征在于:所述底座1呈长方体形,所述底座1下端的四个角处设有防滑脚垫2,所述底座1的左上端焊接有储液箱3,所述储液箱3的左侧设有方形槽5,所述储液箱3里放置有刷液辊,所述底座1的右侧设有硅片放置槽,所述硅片放置槽由两排构成,即第一排硅片放置槽12和第二排硅片放置槽13,所述第一排硅片放置槽12和第二排硅片放置槽13对称设置,所述硅片放置槽由圆弧形槽11和矩形槽10共同构成,所述圆弧形槽11的直径与硅片的直径大小相等,且圆弧形槽11的深度与硅片的厚度大小相等,所述矩形槽10的深度比圆弧形槽11的深度深1~1.5cm,所述第一排硅片放置槽12和第二排硅片放置槽13对称线处的底座1上焊接有挡板9,所述刷液辊由手柄4、支架6和刷辊构成,所述手柄4焊接在支架6的中部,所述刷辊包括第一刷辊7和第二刷辊8,第一刷辊7和第二刷辊8之间的距离稍大于挡板9的厚度,所述第一刷辊7和第二刷辊8分别固定在支架6的两端。

如需购买、转让、实施、许可或投资上述专利技术或类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛金汇源电子有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市黄岛区滨海大道南山川路东(黄岛区委党校);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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本专利喜报专利信息来源于国家知识产权局官网发布的专利公告,由龙图腾网整理发布。
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