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恭喜扬州扬杰电子科技股份有限公司"卧式扩散炉的石英管"专利获国家实用新型专利权

龙图腾网恭喜扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利卧式扩散炉的石英管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN210167335U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201921651714.3,技术领域涉及:H01L21/67(20060101);该实用新型卧式扩散炉的石英管是由陆益;邹威;赵晓非;张凡文;裘俊庆;王毅设计研发完成,并于2019-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

卧式扩散炉的石英管在说明书摘要公布了:卧式扩散炉的石英管。涉及半导体加工技术领域,尤其涉及卧式扩散炉的石英管的结构改进。提供了结构紧凑合理,提高氧化膜厚度均匀性的卧式扩散炉的石英管。包括管体,所述管体上靠近进气口处设有气体搅拌机构;所述气体搅拌机构包括风叶和与所述管体的内腔适配的导流柱;所述导流柱包括依次连通的导向部、混合仓和扩散仓;所述导向部上设有若干倾斜设置的导流孔;若干所述导流孔的进气口分别均布设置在所述导流柱的端部,所述导流孔的出气口分别与所述混合仓连通;所述混合仓位于所述导向部与扩散部之间,靠近所述导流部的中部位置;所述风叶活动设置在所述扩散仓上,位于中部位置。本实用新型具有结构紧凑合理,提高氧化膜厚度均匀性等特点。

本实用新型卧式扩散炉的石英管在权利要求书中公布了:1.卧式扩散炉的石英管,包括管体,其特征在于,所述管体上靠近进气口处设有气体搅拌机构;所述气体搅拌机构包括风叶和与所述管体的内腔适配的导流柱;所述导流柱包括依次连通的导向部、混合仓和扩散仓;所述导向部上设有若干倾斜设置的导流孔;若干所述导流孔的进气口分别均布设置在所述导流柱的端部,所述导流孔的出气口分别与所述混合仓连通;所述混合仓位于所述导向部与扩散部之间,靠近所述导流柱的中部位置;所述风叶活动设置在所述扩散仓上,位于中部位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资上述专利技术或类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人扬州扬杰电子科技股份有限公司,其通讯地址为:225008 江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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本专利喜报专利信息来源于国家知识产权局官网发布的专利公告,由龙图腾网整理发布。
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