恭喜安徽灏东光电科技有限公司叶玉梅获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽灏东光电科技有限公司申请的专利一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219740630U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202320619835.X,技术领域涉及:H05B3/02;该实用新型一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯是由叶玉梅;叶根深;丁红日设计研发完成,并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯,涉及PECVD设备技术领域。包括:外套管,其一端封闭插入加热炉体内,且外套管另一端露出炉体外,外套管露出炉体的一端设置有通孔;红外加热灯,其从外套管通孔插入外套管内,并通过固定环固定在外套管上,其包括双孔孪管石英外壳以及位于红外加热灯外壳内部腔体的红外发热钨丝,红外发热钨丝呈双钨丝螺旋状绕制,不同段红外发热钨丝的螺旋疏密程度不同。本实用新型专利通过设置加热炉体内的石英或碳化硅外套管,提高红外加热灯在真空炉内的安全保障。双钨丝螺旋状绕制提高高功率密度的红外加热灯使用寿命;不同段双钨丝的螺旋疏密程度不同,用以控制辅助红外加热灯相应区域的分区功率。
本实用新型一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯在权利要求书中公布了:1.一种PECVD双舟辅助加热的专用分区功率长寿命红外加热灯,其特征在于,包括:外套管1,所述外套管1一端封闭端插入加热炉体内,且所述外套管1另端露出加热炉体外,所述外套管1露出加热炉体的一端设置有通孔,所述外套管1材料为石英管或碳化硅圆管;红外加热灯,所述红外加热灯从外套管通孔插入所述外套管1内,所述红外加热灯通过固定环4固定在所述外套管1上,所述红外加热灯包括红外加热灯外壳2以及位于红外加热灯外壳2内部腔体的红外发热钨丝3,所述红外加热灯外壳2为双孔孪管透明石英管,所述红外发热钨丝3呈双钨丝螺旋状绕制,所述红外加热灯内不同段红外发热钨丝3的螺旋疏密程度不同。
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