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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种半导体加工设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119601451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510147729.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种半导体加工设备及其控制方法是由李博睿;卢明;倪图强设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体加工设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体加工设备及其控制方法，半导体加工设备，包括电源、阻抗匹配器和半导体处理模组，电源与阻抗匹配器之间设有至少一电流电压传感器，电流电压传感器的实时采样信号与电源输出的功率信号实时同步；阻抗匹配器与半导体处理模组之间设有至少一工作状态传感采集装置，工作状态传感采集装置实时采集半导体处理模组的状态量；还包括控制系统，控制系统基于电流电压传感器的实时采样信号与状态量判断阻抗是否匹配，并在阻抗不匹配时进行根因分析，并基于根因分析的结果选择性调控阻抗匹配器和或半导体处理模组工作状态，以消除半导体处理模组工作状态异常和或使阻抗匹配。

本发明授权一种半导体加工设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备，其特征在于，包括电源、阻抗匹配器和半导体处理模组，所述电源与阻抗匹配器之间设有至少一电流电压传感器，所述电流电压传感器的实时采样信号与所述电源输出的功率信号实时同步；所述阻抗匹配器与所述半导体处理模组之间设有至少一工作状态传感采集装置，所述工作状态传感采集装置实时采集所述半导体处理模组的状态量；还包括控制系统，所述控制系统基于所述电流电压传感器的实时采样信号与所述状态量判断阻抗是否匹配，并在阻抗不匹配时进行根因分析，所述根因分析实施为判断所述阻抗不匹配的产生原因，所述产生原因包括所述半导体处理模组工作状态异常和所述阻抗匹配器的匹配模式错误，并基于所述根因分析的结果选择性调控所述阻抗匹配器和或半导体处理模组工作状态，以消除所述半导体处理模组工作状态异常和或使阻抗匹配。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。