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广东工业大学贺梓霖获国家专利权

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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯片扩膜装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119497479B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411568774.4,技术领域涉及:H10H29/01;该发明授权一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯片扩膜装置与方法是由贺梓霖;陈云;马莉;罗翔远;侯茂祥;陈新设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯片扩膜装置与方法在说明书摘要公布了:本发明属于Mini‑LED芯片制造技术领域,公开一种可修正误差的平面拉伸式Mini‑LED芯片扩膜装置与方法。一种可修正误差的平面拉伸式芯片扩膜装置,包括第一扩膜机构、第二扩膜机构、压膜框、扫描相机和误差修正机构。采用第一扩膜机构和第二扩膜机构用于整体拉伸蓝膜,其后扫描相机检测蓝膜上芯片的位置,修正盘通过吸附通孔吸附以局部固定蓝膜中芯片位置没有偏移的部分,再通过弹子顶起蓝膜中芯片存在偏移没有被固定的部分,对蓝膜进行局部扩张,使得蓝膜上芯片位置得以修正,以精确调整芯片位置,解决常规扩膜装置无法任意调整蓝膜局部拉伸量,无法修正局部芯片位置偏移问题。

本发明授权一种可修正误差的平面拉伸式Mini-LED芯片扩膜装置与方法在权利要求书中公布了:1.一种可修正误差的平面拉伸式芯片扩膜装置,其特征在于:包括第一扩膜机构、第二扩膜机构、压膜框、扫描相机和误差修正机构;所述第一扩膜机构的扩膜方向和所述第二扩膜机构的扩膜方向相互垂直设置,所述压膜框用于固定带有芯片的蓝膜,所述误差修正机构用于蓝膜的局部扩张,所述扫描相机用于检测蓝膜上芯片的位置;所述误差修正机构包括修正盘、若干弹子和弹子驱动机构,所述修正盘设置有若干吸附通孔和若干修正通孔,所述吸附通孔均分分布于所述修正盘,若干所述吸附通孔分别外接有抽气机构,所述吸附通孔在抽气机构的启动下用于将蓝膜吸附固定于修正盘上表面,所述修正通孔均匀分布于所述吸附通孔之间,所述弹子上下活动地设置于所述修正通孔中,一个弹子对应一个修正通孔,若干所述弹子的上下活动均分开独立,若干所述弹子在所述弹子驱动机构的驱动下,至少一个所述弹子向上移动突出于所述修正盘的上表面,向上移动突出的所述弹子用于局部扩张蓝膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东工业大学,其通讯地址为:510000 广东省广州市越秀区东风东路729号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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