恭喜长鑫存储技术有限公司秦盼盼获国家专利权
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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利晶圆生产过程的侦测方法、装置、介质和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121711B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010884629.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆生产过程的侦测方法、装置、介质和电子设备是由秦盼盼;石文颖设计研发完成，并于2020-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆生产过程的侦测方法、装置、介质和电子设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种晶圆生产过程的侦测方法、装置、介质和电子设备，所述侦测方法包括：获取所述晶圆在第一生产模块进行生产的第一结束时间；获取所述晶圆在第二生产模块进行生产的第一开始时间，其中，所述第一生产模块与所述第二生产模块为同一机台中的生产模块；根据所述第一结束时间、所述第一开始时间对所述晶圆在生产模块之间的实际等待时间进行侦测。本发明的技术方案可以提高晶圆的生产质量。
本发明授权晶圆生产过程的侦测方法、装置、介质和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产过程的侦测方法，其特征在于，所述侦测方法包括：获取所述晶圆在第一生产模块进行生产的第一结束时间；获取所述晶圆在第二生产模块进行生产的第一开始时间，其中，所述第一生产模块与所述第二生产模块为同一机台中的生产模块；根据所述第一结束时间、所述第一开始时间对所述晶圆在生产模块之间的实际等待时间进行侦测；所述侦测方法还包括：获取系统中设定的所述晶圆在自第一生产模块生产结束至第二生产模块生产开始之间的设定等待时间；根据所述设定等待时间、所述第一结束时间、所述第一开始时间对所述晶圆的生产过程进行监控；所述对所述晶圆的生产过程进行监控，包括：获取所述第一结束时间与所述第一开始时间的时间差；根据所述时间差和所述设定等待时间判断所述生产过程是否超时；所述根据所述时间差和所述设定等待时间判断所述生产过程是否超时，包括：根据单变量分析曲线判断所述生产过程是否超时。
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