买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利改进的自动晶片居中系统及其技术获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113272947B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980088012.5，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权改进的自动晶片居中系统及其技术是由彼得·S·图拉德;布雷特·M·赫兹格;理查德·M·布兰克;本杰明·W·莫瑞设计研发完成，并于2019-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本改进的自动晶片居中系统及其技术在说明书摘要公布了：探讨了用于确定与校正由晶片搬运机械手搬运的堆叠的晶片中的晶片间未对准的系统与技术。提供了一种改进的自动晶片居中系统，其可用于确定与该堆叠的晶片相关联的最小圆，其可接着用于确定该堆叠的晶片是否符合各种工艺要求和或是否可进行居中校正以将这些晶片与接纳站坐标系较好地对准。

本发明授权改进的自动晶片居中系统及其技术在权利要求书中公布了：1.一种用于搬运标称直径为D1的一个或更多个晶片的设备，所述设备包含： 晶片搬运机械手，其被配置成当所述标称直径为D1的一个或更多个晶片放置于其上时支撑所述标称直径为D1的一个或更多个晶片； 第一边缘检测系统；以及 控制器，其包含一个或更多个处理器和一个或更多个存储器装置，其中： 所述一个或更多个处理器、所述一个或更多个存储器装置、所述晶片搬运机械手和所述第一边缘检测系统彼此能操作地连接，且 所述一个或更多个存储器装置存储计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于控制所述一个或更多个处理器以： a获得关于所述晶片搬运机械手的第一参考点的信息； b确定第一组的一个或更多个晶片由所述晶片搬运机械手支撑，所述第一组的一个或更多个晶片当沿竖直轴观看时在水平平面中限定轮廓边缘； c使所述第一边缘检测系统获得指示相对于所述第一参考点的沿所述第一组的一个或更多个晶片的所述轮廓边缘的至少五个点的第一水平坐标的信息； d针对所述第一组的一个或更多个晶片，确定当沿竖直轴观看时与在c中确定的所述至少五个点的所述第一水平坐标外接的最小圆； e针对所述第一组的一个或更多个晶片，通过确定指示从针对所述第一组的一个或更多个晶片的所述最小圆的中心延伸至所述第一参考点的第一参考线段的长度与方向的信息，确定第一中心偏差； f确定基于所述最小圆的直径与D1之间的差异的所述第一组的一个或更多个晶片的第一滑动量；以及 g确定所述第一组的一个或更多个晶片的所述第一滑动量和所述第一组的一个或更多个晶片的所述第一中心偏差中的至少一者是否表示晶片对准错误条件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。