恭喜福建省晋华集成电路有限公司童宇诚获国家专利权
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龙图腾网恭喜福建省晋华集成电路有限公司申请的专利半导体器件及其接触垫版图、接触垫结构和掩模板组合获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111640733B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910926986.8,技术领域涉及:H01L23/544;该发明授权半导体器件及其接触垫版图、接触垫结构和掩模板组合是由童宇诚;曾依蕾;詹益旺设计研发完成,并于2019-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件及其接触垫版图、接触垫结构和掩模板组合在说明书摘要公布了:本发明提供了一种半导体器件及其接触垫版图、接触垫结构和掩模板组合,通过在主接触垫图案所在的主版图区的一侧设置第一边缘版图区,且第一边缘版图区中每个所述第一边缘接触垫图案的面积大于每个所述主接触垫图案的面积,由此基于该接触垫版图而形成核心区的主接触垫和在核心区边界处或核心区与周边区之间的交界区的虚拟接触垫时,能使得虚拟接触垫的顶面面积大于主接触垫的顶面面积,进而在主接触垫和虚拟接触垫上上接电学结构时,能够增大虚拟接触垫上上接的电学结构的尺寸,以改善核心区与周边区之间的电路图案的密集稀疏效应,并提高主接触垫上接的电学结构的一致性,同时还能避免核心区边界处的主接触垫上接的电学结构异常的问题。
本发明授权半导体器件及其接触垫版图、接触垫结构和掩模板组合在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件的接触垫版图,其特征在于,所述接触垫版图包括: 主版图区,所述主版图区中设有多个主接触垫图案,各个所述主接触垫图案的形状和尺寸相似,且所有的主接触垫图案呈棋盘状交错排布,相邻两行所述主接触垫图案彼此之间具有第四间距,相邻两列所述主接触垫图案彼此之间具有第五间距; 第一边缘版图区,分布在所述主版图区的一边外侧,所述第一边缘版图区中设有至少一个第一边缘接触垫图案,且每个所述第一边缘接触垫图案的面积大于每个所述主接触垫图案的面积,所述第一边缘版图区与所述主版图区之间具有第一边缘间距; 其中,所述第一边缘接触垫图案不同于所述主接触垫图案,所述第一边缘间距不同于所述第四间距; 进一步地,所述第一边缘版图区中的所述第一边缘接触垫图案排布为一行或两行,其中一行所述第一边缘接触垫图案仅为一个具有锯齿状边缘的长条,或者两行所述第一边缘接触垫图案的数量分别为多个; 且所述锯齿状边缘设置在所述长条的面向所述主版图区的一侧,所述长条的与所述锯齿状边缘相对的另一侧为直线状边缘,所述锯齿状边缘中的各个锯齿与所述主版图区中相应的主接触垫图案对准排布。
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