申请/专利权人：艾克斯特朗欧洲公司

申请日：2018-03-16

公开（公告）日：2019-11-15

公开（公告）号：CN110462094A

主分类号：C23C14/12(20060101)

分类号：C23C14/12(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/56(20060101)

优先权：["20170324 DE 102017106431.1"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.03.20#实质审查的生效;2019.11.15#公开

摘要：本发明涉及一种用于在基板13上沉积由有机材料构成的层的设备，所述设备具有具备加热装置31的、布置在反应器壳体1内的进气机构7和蒸汽发生器30，有机的初始材料通过所述蒸汽发生器能够变为蒸汽形式并且所述蒸汽发生器通过输入管路8与所述进气机构7相连，所产生的蒸汽和输入到蒸汽发生器30内的惰性气体通过所述输入管路被输送到所述进气机构7中，并且所述设备还具有具备冷却装置32的、布置在反应器壳体1内的、用于放置基板13的基板支架14。设有冷却区域20、28和能使所述冷却区域20、28冷却到200K以下温度的器件24、29，其中，所述冷却区域由具有被冷却的表面的冷却嵌板20构成，所述冷却嵌板20用于使至少0.1mbar的惰性气体气压中的水的分压降低。

主权项：1.一种用于在基板13上沉积由有机材料构成的层的设备，所述设备具有具备加热装置31的、布置在反应器壳体1内的进气机构7和蒸汽发生器30，有机的初始材料通过所述蒸汽发生器能够变为蒸汽形式并且所述蒸汽发生器通过输入管路8与所述进气机构7相连，所产生的蒸汽和输入到蒸汽发生器30内的惰性气体通过所述输入管路被输送到所述进气机构7中，并且所述设备还具有具备冷却装置32的、布置在反应器壳体1内的、用于放置基板13的基板支架14，其特征在于，设有冷却区域20、28和能使所述冷却区域20、28冷却到200K以下温度的器件24、29，其中，所述冷却区域20、28布置在所述反应器壳体1内，使得惰性气体流过所述冷却区域，以便从惰性气体中冻结出水蒸气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾克斯特朗欧洲公司 用于在OVPD覆层设备内降低水的分压的设备和方法

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