申请/专利权人:康宁公司
申请日:2019-05-21
公开(公告)日:2019-11-29
公开(公告)号:CN110515196A
主分类号:G02B26/00(20060101)
分类号:G02B26/00(20060101);G02B3/14(20060101)
优先权:["20180521 US 62/674,528"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.06.04#实质审查的生效;2019.11.29#公开
摘要:在一些实施例中,一种图案化绝缘层的方法可包括显影掩模层的第一部分以暴露绝缘层的第一部分。该方法可进一步包括选择性蚀刻绝缘层的第一部分以暴露导电层的一部分,其包括与掩模层的第一部分对应的第一图案。该方法可进一步包括除去掩模层的第二部分以暴露绝缘层的第二部分,其包括与掩模层的第二部分对应的第二图案且表面能低于40mJm2。在另一实施例中,一种液体透镜可包括在设置于腔内的极化液体和非极化液体之间形成透镜的界面。该界面可与表面能低于40mJm2的绝缘层的表面相交。
主权项:1.一种图案化绝缘层的方法,所述方法包括:将掩模层施加到所述绝缘层;将所述掩模层的第一部分选择性暴露到电磁辐射,而不将所述掩模层的第二部分暴露到所述电磁辐射;显影所述掩模层的所述第一部分以暴露所述绝缘层的第一部分;选择性蚀刻所述绝缘层的所述第一部分以暴露导电层的一部分,所述导电层的该部分包括与所述掩模层的所述第一部分对应的第一图案;和除去所述掩模层的所述第二部分以暴露所述绝缘层的第二部分,所述绝缘层的所述第二部分包括与所述掩模层的所述第二部分对应的第二图案且表面能低于40mJm2。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 康宁公司 液体透镜和制造液体透镜的方法
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