申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2018-03-02

公开（公告）日：2019-12-06

公开（公告）号：CN110546734A

主分类号：H01L21/027(20060101)

分类号：H01L21/027(20060101);B29C59/02(20060101)

优先权：["20170308 US 62/468,462"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2019.12.31#实质审查的生效;2019.12.06#公开

摘要：提供了以高的生产量在基板的注料区域中具有均匀物理性质的固化物图案的制造方法。固化物图案的制造方法包括第一步骤配置步骤，在基板上配置由固化性组合物α1的液膜形成的层，该固化性组合物α1至少含有作为聚合性化合物的成分A1，和第二步骤分配步骤，将固化性组合物α2的液滴离散地分配至由除了作为溶剂的成分D1之外的固化性组合物α1的成分的组合物α1'形成的层上，该固化性组合物α2至少含有作为聚合性化合物的成分A2，其中：混合组合物α1'和固化性组合物α2是放热的。

主权项：1.固化物图案的制造方法，包括：1第一步骤配置步骤，将由固化性组合物α1的液膜形成的层配置在基板上，该固化性组合物α1至少含有作为聚合性化合物的成分A1；2第二步骤分配步骤，将固化性组合物α2的液滴离散地分配至由除了作为溶剂的成分D1之外的固化性组合物α1的成分的组合物α1'的液膜形成的层上，该固化性组合物α2至少含有作为聚合性化合物的成分A2；3第三步骤模具接触步骤，使由混合该组合物α1'和该固化性组合物α2获得的混合物层与模具接触；4第四步骤光照射步骤，用光从模具侧照射该混合物层以固化该层；和5第五步骤脱模步骤，在固化之后使该模具与该混合物层脱模，其中混合该组合物α1'和该固化性组合物α2是放热的。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 固化物图案的制造方法和光学部件、电路板和石英模具复制品的制造方法以及用于压印预处理的涂覆材料及其固化物

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