申请/专利权人：ASM IP私人控股有限公司

申请日：2018-07-25

公开（公告）日：2020-03-31

公开（公告）号：CN110945639A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：["20170726 US 15/660,805"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.17#授权;2020.08.14#实质审查的生效;2020.03.31#公开

摘要：提供了一种用于处理衬底的竖式炉的衬里和凸缘的组件。衬里构造成在竖式炉的处理管的内部中延伸，且凸缘构造成至少部分地封闭衬里开口。衬里包括基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并且限定内部空间。凸缘包括：入口开口，其构造成插入和移除构造成在衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；向内部空间提供气体的气体入口。组件构造并且布置成具有气体排放开口以从内部空间以及衬里与低压管之间的空间移除气体。

主权项：1.一种衬里和凸缘的组件，所述衬里构造成在竖式炉的低压管的内部中延伸，所述衬里包括：基本上圆柱形壁，所述基本上圆柱形壁由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于所述衬里开口上方的气体基本上封闭并且限定内部空间，所述凸缘构造成至少部分地封闭所述管的开口，并且包括：入口开口，所述入口开口构造成插入并且移除构造成在所述衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；和气体入口，所述气体入口向所述内部空间提供气体，其中所述组件构造并且布置成具有气体排放开口，以从所述内部空间以及所述衬里与所述低压管之间的空间移除气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASM IP私人控股有限公司 用于竖式炉的衬里和凸缘的组件及衬里和竖式炉

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