申请/专利权人：上海柏凌电子科技有限公司

申请日：2019-10-11

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211043567U

主分类号：G01R31/265(20060101)

分类号：G01R31/265(20060101);H01L21/66(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型涉及硅片检测技术领域，尤其为一种SPV硅片少子寿命检测系统，包括测量模块、信号处理模块、控制模块和基座，所述基座上固定设有承载平台，所述承载平台端面中心处固定设有内嵌有光电传感器，所述光电传感器的上方并且位于承载平台的端面上设有硅片，所述硅片的上方设有红外光源，所述红外光源的安装在固定架上，所述固定架设置在基座的端面上，所述固定架上并且位于红外光源的同侧设有静电耦合传感器，所述基座的端面上并且位于固定架的左上侧固定设有LCD触摸屏安装架，所述LCD触摸屏安装架上安装有LCD触摸屏，本实用新型通过设计检测系统具有无接触、抗干扰能力强、故障率低、操作方便、维护成本低、快速、准确等优点。

主权项：1.一种SPV硅片少子寿命检测系统，包括测量模块1、信号处理模块2、控制模块3和基座133，其特征在于：所述基座133上固定设有承载平台132，所述承载平台132端面中心处固定设有内嵌有光电传感器134，所述光电传感器134的上方并且位于承载平台132的端面上设有硅片131，所述硅片131的上方设有红外光源111，所述红外光源111的安装在固定架141上，所述固定架141设置在基座133的端面上，所述固定架141上并且位于红外光源111的同侧设有静电耦合传感器121，所述基座133的端面上并且位于固定架141的左上侧固定设有LCD触摸屏安装架4，所述LCD触摸屏安装架4上安装有LCD触摸屏32，所述测量模块1包括脉冲信号发生器151和放大电路152，所述信号处理模块2包括第一信号处理单元21和第二信号处理单元22，所述控制模块3包括微处理器31，模数与数模转换处理器33。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海柏凌电子科技有限公司 一种SPV硅片少子寿命检测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD