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【实用新型】射频前端声波谐振器_陈真;刘晓军;韩娜_202020260922.7 

申请/专利权人:陈真;刘晓军;韩娜

申请日:2020-03-05

公开(公告)日:2020-10-16

公开(公告)号:CN211701994U

主分类号:H03H9/145(20060101)

分类号:H03H9/145(20060101);H03H9/15(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-未缴年费专利权终止

法律状态:2024.03.19#未缴年费专利权终止;2020.10.16#授权

摘要:本实用新型提供了一种射频前端声波谐振器,包括:衬底1、底电极2、压电层3、上电极4和空气腔体8;所述空气腔体8由所述衬底1和所述压电层3包围形成,所述底电极2位于所述压电层3的内侧,所述上电极4位于所述压电层3的外侧,所述上电极4包括多个梳状排列的上电极单元。本实用新型通过采用梳状上电极结构,从而可以改变梳状电极的宽度,进而调节压电谐振器的频率。本实用新型提出的压电谐振器可以在单片基底上实现多个谐振频率,从而使得本实用新型具有灵活、方便地调节谐振器频率等优点。

主权项:1.一种射频前端声波谐振器,其特征在于,包括:衬底1、底电极2、压电层3、上电极4和空气腔体8;所述空气腔体8由所述衬底1和所述压电层3包围形成,所述底电极2位于所述压电层3的内侧,所述上电极4位于所述压电层3的外侧,所述上电极4包括多个梳状排列的上电极单元。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 陈真;刘晓军;韩娜 射频前端声波谐振器

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