申请/专利权人：苏州纳格光电科技有限公司

申请日：2020-08-03

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN212572999U

主分类号：H05B3/14(20060101)

分类号：H05B3/14(20060101);H05B3/20(20060101);H05B3/34(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.19#授权

摘要：本实用新型提供一种具有应力调节层的微热板，包括：硅基底，包括相对设置的第一表面及第二表面；硅基底包括中心加热区及外围支撑区，中心加热区包括贯穿第一表面以及第二表面的空气绝热腔；陶瓷悬膜，设于第一表面；应力调节层，覆盖至少部分陶瓷悬膜的上表面；加热层，加热层包括加热电阻膜及加热电极；加热电阻膜设于陶瓷悬膜上方并位于中心加热区，加热电极设于陶瓷悬膜上方并与加热电阻膜电连接；加热层至少部分与应力调节层接合。本实用新型的具有应力调节层的微热板，通过设置覆盖陶瓷悬膜的应力调节层，能够吸收陶瓷悬膜受热产生的热应力，可以大大提高陶瓷悬膜的应力承受能力，提高了微热板的稳定性。

主权项：1.一种具有应力调节层的微热板，其特征在于，包括：硅基底，包括相对设置的第一表面及第二表面；所述硅基底包括中心加热区及外围支撑区，所述中心加热区包括贯穿所述第一表面以及所述第二表面的空气绝热腔；陶瓷悬膜，设于所述第一表面；应力调节层，覆盖至少部分所述陶瓷悬膜的上表面；加热层，所述加热层包括加热电阻膜及加热电极；所述加热电阻膜设于所述陶瓷悬膜上方并位于所述中心加热区，所述加热电极设于所述陶瓷悬膜上方并与所述加热电阻膜电连接；所述加热层至少部分与所述应力调节层接合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州纳格光电科技有限公司 具有应力调节层的微热板

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