申请/专利权人：北京信息科技大学

申请日：2020-11-16

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112391603A

主分类号：C23C16/04(20060101)

分类号：C23C16/04(20060101);C23C16/448(20060101);C25F7/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.08#授权;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本公开涉及电化学加工技术领域，具体提供了一种基于气相沉积法的中空电极侧壁绝缘层制备系统及方法。该制备系统包括供气装置、沉积装置、电极毛细自持装置、中空电极、气体冷却装置和供液装置，供气装置和气体冷却装置分别通过供气阀和抽气阀与沉积装置连接，气体冷却装置内设有真空泵，电极毛细自持装置包括电极固定装置和装液装置。制备方法包括以下步骤：通过供液装置向装液装置中注入亲水液体；在亲水金属管毛细自持现象下，亲水液体填满小管的内部；向沉积装置中提供压强为0.35mpa的真空环境；向沉积装置中通入Parylene气体；经过t时间后，Parylene气体以Parylene聚合物的形态附着在中空电极的外表面；镀膜结束，气体冷却装置将镀膜过程中剩余气体冷阱捕集凝集。

主权项：1.一种基于气相沉积法的中空电极侧壁绝缘层制备系统，其特征在于，包括供气装置50、沉积装置10、电极毛细自持装置1、中空电极30、气体冷却装置70和供液装置40，所述供气装置50通过供气阀81与所述沉积装置10连接，所述气体冷却装置70通过抽气阀80与所述沉积装置10连接，所述气体冷却装置70内设有用于抽真空的真空泵；所述电极毛细自持装置1包括电极固定装置60和装液装置20，所述中空电极30固定在所述电极固定装置60上，并放置在所述装液装置20中，所述电极毛细自持装置1固定于所述沉积装置10的底面，其底部通过供液阀82与所述供液装置40连接、并将出水口置于所述中空电极30的底部，所述供液装置40用于朝向所述装液装置20内输送亲水液体90，所述中空电极30的小管31伸出所述亲水液体90，并使得所述亲水液体90在毛细自持现象作用下充满所述小管31的内部。

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百度查询： 北京信息科技大学 基于气相沉积法的中空电极侧壁绝缘层制备系统及方法

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