申请/专利权人：鲁东大学

申请日：2021-01-29

公开（公告）日：2021-05-11

公开（公告）号：CN112782795A

主分类号：G02B5/18(20060101)

分类号：G02B5/18(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.07#授权;2021.05.28#实质审查的生效;2021.05.11#公开

摘要：本发明公开了一种制备周期减半的亚微米光栅的方法，涉及光学、微细加工、先进制造等领域，它解决了现有的光栅复制技术只能进行1:1光栅复制的问题，本发明利用一块亚微米母光栅制备出了周期减半的亚微米子光栅。本发明的方法为：首先制备出亚微米母光栅的PDMS软模板，同时在干净的基片上制备出所要使用的材料薄膜；然后将亚微米母光栅的PDMS软模板与准备好的材料薄膜紧密贴合，再将两者整体置于加热板上加热5分钟，加热温度要高于所用薄膜材料的玻璃化转变温度；最后将两者从加热板上取下并冷却至室温，分离基片和PDMS软模板，便在基片上制备出了周期减半的亚微米子光栅。本发明适用于亚微米光栅的制备领域。

主权项：1.一种制备周期减半的亚微米光栅的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：亚微米母光栅的PDMS软模板的制备，步骤如下：S11：将PDMS本体材料和固化剂按照体积比10:1的比例在烧杯中混合并且搅拌均匀，令该混合液在空气中静置1个小时以充分去除气泡；S12：将S11中没有气泡的混合液倾倒在所要复制的亚微米母光栅上，并使混合液完全覆盖亚微米母光栅，静置1个小时，再将其整体置于60℃热板上加热1个小时使混合液固化；自然冷却至室温后将固化好的PDMS材料从亚微米母光栅上揭下，此时便获得了亚微米母光栅的PDMS软模板；S2：基片上的薄膜材料制备，步骤如下：将所用基片清洗干净并在其上旋转涂覆液体薄膜材料，静置10分钟后将其整体置于加热板上加热使薄膜材料固化，薄膜材料的厚度控制在50nm到100nm；S3：周期减半的亚微米子光栅的制备，步骤如下：S31：将S1中制得的亚微米母光栅的PDMS软模板上有亚微米结构的一面使用紫外臭氧清洗机清洗1分钟，然后将其粘附到S2中基片上的薄膜材料表面，并使两者紧密贴合在一起；S32：将两者整体置于加热板上加热，加热温度要高于所用薄膜材料的玻璃化转变温度，以保证薄膜材料在熔融状态下能够迁移流动；加热5分钟后将两者整体从热板上取下并冷却至室温，然后将亚微米母光栅的PDMS软模板与基片分离，便在基片上制备出周期减半的亚微米子光栅。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鲁东大学 一种制备周期减半的亚微米光栅的方法

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