申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日：2018-08-01

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN110793936B

主分类号：G01N21/41(20060101)

分类号：G01N21/41(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.07.23#授权;2020.03.10#实质审查的生效;2020.02.14#公开

摘要：本发明公开了基于光栅狭缝波导复合结构的传感器，传感器包括：衬底，包括相对的第一表面和第二表面，第一表面凹陷以形成第一凹槽，衬底还包括至少两个贯穿第二表面和第一凹槽底面的通孔；介质层，盖设于第一表面上，且介质层与第一凹槽相对；金属层，设置于第一凹槽底面上且避开通孔在第一凹槽底面上的开口；其中，介质层、金属层及介质层与金属层之间的间隔构成狭缝光波导；光栅，光栅形成于介质层上，或者光栅形成于第一凹槽底面上，或者光栅通过金属层形成；光栅用于使入射光与狭缝光波导的模式实现波矢匹配。本发明的目的在于实现同时具有高品质因子和高传感灵敏度的光学折射率传感器，使其获得超高的器件优值。

主权项：1.一种基于光栅狭缝波导复合结构的传感器，其特征在于，所述传感器包括：衬底，包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面凹陷以形成第一凹槽，所述衬底还包括至少两个贯穿所述第二表面和所述第一凹槽底面的通孔；介质层，盖设于所述第一表面上，且所述介质层与所述第一凹槽相对；金属层，设置于所述第一凹槽底面上且避开所述通孔在所述第一凹槽底面上的开口；其中，所述介质层、所述金属层及所述介质层与所述金属层之间的间隔构成狭缝光波导；光栅，所述光栅形成于所述介质层上，或者所述光栅形成于所述第一凹槽底面上，或者所述光栅通过所述金属层形成；所述光栅用于使入射光与所述狭缝光波导的模式实现波矢匹配。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于光栅狭缝波导复合结构的传感器

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