申请/专利权人：旭晖应用材料股份有限公司;全洋(黄石)材料科技有限公司

申请日：2020-03-18

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113493892A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.01.20#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.10.29#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：一种具有改善张网平面度功能的复合式金属掩膜板，其包括一具有多个镀膜图案成形孔的复合式板体，复合式板体包括低热膨胀系数的金属基材与位于金属基材一侧面的第一变形调整镀膜，第一变形调整镀膜的厚度值范围为1μm～10μm，金属基材与第一变形调整镀膜为热膨胀系数相异的材料，且金属基材与第一变形调整镀膜两者的热膨胀系数比值为1∶4～1∶9，借此，利用金属基材与其侧面的第一变形调整镀膜为相异热膨胀系数材料层结合的复合式层状构造，并控制金属基材与第一变形调整镀膜之间的热膨胀系数比值，使金属掩膜板张网时，第一变形调整镀膜以反向变形手段抵消金属基材因重力而自然悬垂量，使金属掩膜板张网时达到较佳的张网平面度。

主权项：1.一种复合式金属掩膜板，其包括一复合式板体，以及分布设置于该复合式板体中的多个镀膜图案成形孔，其特征在于，该复合式板体包括：一低热膨胀系数的金属基材，其厚度为15μm～150μm，该金属基材于厚度方向的相对两侧分别为一第一侧面与一第二侧面；以及一第一变形调整镀膜，其形成于该金属基材的第一侧面的全部或部分，该第一变形调整镀膜与该金属基材为热膨胀系数相异的材料，该第一变形调整镀膜的厚度值范围为1μm～10μm，且该金属基材的热膨胀系数与该第一变形调整镀膜的热膨胀系数的比值为1∶4～1∶9。

全文数据：

权利要求：

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