申请/专利权人：FEI 公司

申请日：2021-04-07

公开（公告）日：2021-10-12

公开（公告）号：CN113495078A

主分类号：G01N23/044(20180101)

分类号：G01N23/044(20180101)

优先权：["20200408 US 16/843770"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.11#实质审查的生效;2021.10.12#公开

摘要：样品保持件保持样品，并且当所述样品曝光于带电粒子束（CPB）或其它辐射源时，所述样品保持件可使所述样品在单一方向上连续地旋转。典型地，选通所述CPB，以产生随机或任意旋转角度处的一系列CPB图像。所述样品保持件可旋转超过所述样品的一个完整转动。所述CPB图像用于断层摄影重构，并且在一些情况下，相对旋转角度用于所述重构，而无需输入绝对旋转角度。

主权项：1.一种方法，其包含：使样品在一个方向上旋转，所述旋转是连续的，其中所述样品通过多次转动而旋转，并且其中所述样品的完整转动的所有角度都是可用的；用多个电子束脉冲对所述样品进行照明，以脉冲速率且在所述样品旋转的同时执行所述照明；响应于所述照明，获取所述样品的多个图像，每个图像以所述样品的相对角度与其它所获取的图像中的至少一个不同的方式获取；以及确定所述样品在每个所获取的图像中的所述相对角度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI 公司 用于断层摄影中的随机角度取样的旋转样品保持件

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